表面氣相沉積強化工藝技術特點
氣相(xiang)沉積(ji)按形(xing)(xing)成的基本原理,分為(wei)化學氣相(xiang)沉積(ji)(CVD)和物(wu)(wu)理氣相(xiang)沉積(ji)(PVD)。氣相(xiang)沉積(ji)是在工件表面覆蓋(gai)一層(ceng)厚度為(wei)0.5~10μm的過(guo)渡族元素(Ti、V、Cr、W、Nb等(deng)(deng))與(yu)C、N、O、B等(deng)(deng)形(xing)(xing)成的化合物(wu)(wu),或單一的金(jin)屬及(ji)非金(jin)屬涂層(ceng),使零件表層(ceng)改變化學成分,并在其(qi)表面形(xing)(xing)成...