氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)按形(xing)成(cheng)的(de)(de)基本(ben)原理(li)，分為(wei)化(hua)(hua)學氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)（CVD）和物理(li)氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)（PVD）。氣相(xiang)沉(chen)(chen)積(ji)是(shi)在工件表(biao)面(mian)覆蓋一(yi)層厚度為(wei)0.5～10μm的(de)(de)過(guo)渡族元素(su)（Ti、V、Cr、W、Nb等）與C、N、O、B等形(xing)成(cheng)的(de)(de)化(hua)(hua)合物，或單一(yi)的(de)(de)金(jin)屬及(ji)非金(jin)屬涂層，使零件表(biao)層改變化(hua)(hua)學成(cheng)分，并(bing)在其(qi)表(biao)面(mian)形(xing)成(cheng)功能(neng)性（例如(ru)超硬耐(nai)磨層）或裝飾性的(de)(de)化(hua)(hua)合物涂層的(de)(de)新技術，現已廣泛應用(yong)于各類零件的(de)(de)硬化(hua)(hua)處理(li)。沉(chen)(chen)積(ji)層的(de)(de)主要類別及(ji)特性見(jian)表(biao)3-38。
主要應用的沉積層TiC、TiN涂層有以下特(te)點：
a. 涂層有很(hen)高(gao)的硬度（TiC：2980～3800HV，TiN：2400HV）、低的摩(mo)擦因數和自潤(run)滑(hua)性能，所以抗磨粒磨損性能良好。
b. 涂(tu)(tu)層(ceng)具有(you)很高的(de)熔(rong)點（TiC：3800℃，TiN：2950℃），化(hua)學穩(wen)定性好，基(ji)體金屬在涂(tu)(tu)層(ceng)中(zhong)的(de)溶解度小，摩擦因(yin)數較低，因(yin)而(er)(er)具有(you)很高的(de)抗粘著磨(mo)損能力(li)，使用中(zhong)發生冷焊和(he)咬合(he)的(de)傾向也(ye)很小，而(er)(er)且(qie)TiN比TiC更(geng)好。
c. 涂(tu)層有較強的(de)耐(nai)蝕(shi)性，TiC涂(tu)層在硫酸(suan)、鹽(yan)酸(suan)、氯化鈉水溶液(ye)中的(de)耐(nai)蝕(shi)性良好，而且TiN的(de)耐(nai)蝕(shi)性一般都比TiC更好一些(xie)。
d. 涂層在高溫下也具有良好的抗大氣氧化能力（TiC大約可達400℃，TiN大約可達500℃），高于以上溫度，在空氣中的TiC、TiN將被氧化成TiO2而失去其原來的性能。
